百級無塵室（ISO Class 5）和千級無塵室（ISO Class 6）之間的主要區(qū)別在于它們所能達到的潔凈度等級、粒子濃度限制以及相應(yīng)的設(shè)施配置。以下是兩者的詳細區(qū)別：1. 潔凈度等級?百級無塵室：根據(jù)ISO 14644-1標準，百級無塵室對應(yīng)的等級為ISO Class 5（原FS 209E中的Class 100），表示每立方米空氣中大于等于0.5微米的粒子數(shù)不超過3520個。?千級無塵室：千級無塵室對應(yīng)的等級為ISO Class 6（原FS 209E中的Class 1000），表示每立方米空氣中大于等于0.5微米的粒子數(shù)不超過35200個。2. 粒子濃度限制?百級無塵室：在靜態(tài)條件下，每立方米空氣中大于等于0.5微米的粒子數(shù)不超過3520個。而在動態(tài)條件下，這個數(shù)字會有所增加，但仍然需要控制在一個非常低的水平。?千級無塵室：同樣在靜態(tài)條件下，每立方米空氣中大于等于0.5微米的粒子數(shù)不超過35200個。動態(tài)條件下，粒子濃度也會相應(yīng)增加，但比百級無塵室要寬松一些。3. 空氣處理系統(tǒng)?百級無塵室：通常使用層流（Laminar Flow）系統(tǒng)，確?？諝庖跃鶆虻乃俣群头较蛄鲃?，有效地去除粒子。層流系統(tǒng)能夠最大限度地減少空氣中的渦流和沉積現(xiàn)象。?千級無塵室：可以使用湍流（Turbulent Flow）系統(tǒng)，雖然效率略低于層流系統(tǒng)，但仍能有效控制粒子濃度。湍流系統(tǒng)通過高速循環(huán)空氣來保持一定的潔凈度。4. 過濾器類型?百級無塵室：使用高效空氣過濾器（HEPA）或超高效空氣過濾器（ULPA），HEPA過濾器可以去除99.99%以上的0.3微米以上的粒子，而ULPA過濾器則能去除99.999%以上的0.12微米以上的粒子。?千級無塵室：通常也使用HEPA過濾器，但在某些情況下，可能使用效率稍低的過濾器。5. 人員進出控制?百級無塵室：人員進入時需要經(jīng)過嚴格的更衣程序，包括穿著全套無塵服、戴帽子、口罩、手套和鞋套，并通過風淋室（Air Shower）進行凈化。?千級無塵室：雖然也需要更衣和凈化，但相對于百級無塵室來說，可能稍微寬松一些。6. 物料進出管理?百級無塵室：物料進出需要經(jīng)過嚴格的凈化程序，使用傳遞窗并確保物料表面清潔。?千級無塵室：物料進出也需要凈化，但相對于百級無塵室來說，要求可能稍微寬松一些。7. 維護與管理?百級無塵室：需要更頻繁的維護，包括定期更換過濾器、清潔無塵室內(nèi)部、檢查設(shè)備狀態(tài)等。?千級無塵室：雖然也需要定期維護，但維護周期和要求可能相對寬松一些。總結(jié)百級無塵室和千級無塵室的主要區(qū)別在于潔凈度等級、粒子濃度限制以及相應(yīng)的設(shè)施配置。百級無塵室具有更高的潔凈度要求，適用于對粒子濃度極為敏感的高精密生產(chǎn)環(huán)境，如半導(dǎo)體制造、微電子器件生產(chǎn)等。而千級無塵室雖然潔凈度稍低，但也廣泛應(yīng)用于對潔凈度有一定要求但不必過于嚴格的領(lǐng)域。